当天一客户拿上来一块ICP赛默飞Thermo7电路板，说设施开机几小时，读样环节中，过后在读去离子水，突然熄火，报错E9006，说电流过流缺点，而后开机好几次点火，只听到滴一声，不可点火，每次只报错E2208，等离子体点火失败，RF仿佛反常......